鍙扮Н鐢垫槑骞村簳鍓嶅皢绱閲囪喘55鍙癊UV鍏夊埢鏈猴細鑺辫垂瓒?40浜垮厓

鍙扮Н鐢垫槑骞村簳鍓嶅皢绱閲囪喘55鍙癊UV鍏夊埢鏈猴細鑺辫垂瓒?40浜垮厓

鑺墖鍒剁▼宸茬粡鎺ㄨ繘鍒颁簡7nm浠ヤ笅锛岃繖鍏朵腑鏈€鍏抽敭鐨勬牳蹇冭澶囧氨瑕佹暟EUV鍏夊埢鏈轰簡锛岀洰鍓嶅叏涓栫晫鍙湁鑽峰叞ASML锛堥樋鏂害锛夊彲浠ュ埗閫犮€?span style="display:none">nd4鏄惧崱涔嬪

鏉ヨ嚜Digitimes鐨勬姤閬撶О锛?strong>鍙扮Н鐢垫墦绠楀湪2021骞村簳鍓嶈喘缃?5鍙癊UV鍏夊埢鏈猴紝浠ュ姞蹇獷UV鐩稿叧宸ヨ壓鍒剁▼鐨勫彂灞?/strong>銆?span style="display:none">nd4鏄惧崱涔嬪

瀹為檯涓婏紝褰撳墠鍏ㄧ悆涓€鍗婃姇鍏ヤ娇鐢ㄧ殑EUV鍏夊埢鏈洪兘鍦ㄥ彴绉數鎵嬩腑锛岃€屾埅姝粖骞翠簩瀛e害缁撴潫锛孉SML绱鍑鸿揣浜嗗ぇ姒?1鍙板厜鍒绘満锛屼篃灏辨槸鍙扮Н鐢靛畨瑁咃紙娉ㄦ剰锛屼粠鑾峰彇闆朵欢鍒版牎鍑嗘満鍣ㄤ娇鐢ㄨ繕闇€瑕佸皬鍗婂勾鏃堕棿锛変簡30鍙板乏鍙筹紝杩樻湁25鍙扮殑缂哄彛銆?span style="display:none">nd4鏄惧崱涔嬪

ASML浠婂勾涓嬪崐骞磋鍒掑嚭璐?2鍙板厜鍒绘満锛屾槑骞村叏骞存渶澶?0鍙帮紝鎹㈣█涔嬶紝鍙扮Н鐢垫墦绠楁姠涓嬭繖鍏朵腑瓒呰繃1/3鐨勪緵璐с€?span style="display:none">nd4鏄惧崱涔嬪

鏇村叧閿殑鏄紝涓€鍙癊UV鍏夊埢鏈虹殑浠锋牸澶ф鏄?.2浜跨編鍏冿紙绾﹀悎8浜垮厓浜烘皯甯侊級锛屼篃灏辨槸鍦?020骞村簳鍓嶏紝鍙扮Н鐢典拱EUV鏈哄櫒灏辫鑺辫秴杩?40浜垮厓浜烘皯甯侊紝澶х害鐩稿綋浜庡彴绉數褰撳墠涓や釜鏈堢殑鎬绘敹鍏ヤ簡銆?/strong>nd4鏄惧崱涔嬪

鍙扮Н鐢垫槑骞村簳鍓嶅皢绱閲囪喘55鍙癊UV鍏夊埢鏈猴細鑺辫垂瓒?40浜垮厓nd4鏄惧崱涔嬪

鐩稿叧鎺ㄨ崘